拋光墊
多孔性對拋光液具有良好的儲存性能，保持拋光效率的穩定性。
產品特點：
(1)由聚氨酯樹脂發泡制成，具有較強的耐磨性和多孔性；
(2)耐磨性可使拋光墊持續保持優異的平坦度；
(3)多孔性對拋光液具有良好的儲存性能，保持拋光效率的穩定性。
可供規格：
| 型號 | 密度（LB/FT3） | 硬度 |
| SL-4387 | 68 | SHORE D 69 |
| LP-57C | 33 | SHORE A 88 |
| SP-66C | 28 | SHORE D 36 |
注：
(1)開槽拋光墊最小厚度1mm；
(2)標準槽深為拋光墊厚度1/2；
(3)可以為客戶不同開槽要求定制。
應用領域：
廣泛用于碳化硅晶圓、藍寶石晶圓、硅晶圓、陶瓷材料、金屬及合金、 硬盤等產品的高速平面拋光。
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